广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦真空分子泵维修服务
分子泵市场
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。
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油池安装注意事项 ①、拆油
②、油量控制
③、油池卫生，防颗粒
④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏
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安捷伦 AFS 悬浮轴承系统，采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体，避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击；并且由于弹性材料的阻尼效应，可以吸收各种振动的能量，降低整泵的噪音和振动。
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安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异，分子泵的工作寿命差别很大，但是如果分子泵已经工作了很长时间（5年以上），或者出现了噪音、温度、功率异常，及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。
安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构，由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低，震动小，结构简单，运行稳定，维护间隔周期长等优点，而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。
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分子泵：安捷伦TwisTorr涡轮分子泵采用独有的AFS悬浮轴承技术，工作时振动非常低，被广泛地应用在世界各地的众多电子显微镜上。一个位于日本的业界，从2015年起，在其生产的电子显微镜上使用了1000多台安捷伦分子泵，泵的可靠性非常接近，实测的振动水平低于0.01米/秒2，噪声等级更是只有40dB(A)。
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当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为 7mT 时，平衡温度上升到 100 摄氏度左右（安捷伦分子泵的允许温度为 120 度）。另外，KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（ 5mT 时，低大约40度）。
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安捷伦DS系列旋片泵符合CE和RoHS要求，所有的泵均具有UL和CSA认证。安捷伦的技术支持机构确保DS系列旋片泵具有的，且能够适合于绝大多数应用。安捷伦提供抽速从1.8m三次方/h到25m三次方/h小时的系列双极油泵，同时还提供“智能”的HS系列变频泵。
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由于钛升华泵或吸气剂泵可以提供很大的抽速，在 UHV 系统中，通常使用钛升华泵或者吸气剂泵作为泵送活性气体（如氦气和氮气）的有效手段，但是，钛升华泵或者吸气剂泵对非活性气体（如气和）几乎没有抽速。由于 Starcell 三极离子泵对非活性气体有较好的抽气作用，通常将 TSP 或 NEG 与 Starcell 结合使用。安捷伦可以提供与钛升华泵复合的 CombiTSP 离子泵或与吸气剂泵复合的 CombiNEG 离子泵。
以上信息由专业从事安捷伦真空分子泵维修服务的潽拓光电于2024/5/6 12:18:19发布
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